回首往事，從1980年國產(chǎn)步進機第一號問世以來，步進機已經(jīng)銷售了近8 000臺，其中多數(shù)都在生產(chǎn)第一線運轉(zhuǎn)著。

一號機誕生那會兒，半導(dǎo)體設(shè)備最小的電路尺寸是1.5微米（1微米是一百萬分之一米），現(xiàn)在是0.04微米（45納米），縮小到原來的1/40。與之相配套，電路蝕刻的精度也大大提高，現(xiàn)在的精度已經(jīng)超過6~7納米（可視波長的1/100）。在價格上，最早一臺是1.5億日元左右，現(xiàn)在最先進的步進機售價超過了40億日元。隨著機械的復(fù)雜程度和精確度的提高，價格也有了兩位數(shù)的增長，令人不由感慨今非昔比。

最近的步進機也被稱為“掃描式步進機”或者“掃描機”，是由相當于原板的光掩膜，以及要把光掩膜上的電路圖轉(zhuǎn)印過去的平臺上的晶片，以四比一的速度逆向行進，同時借助狹縫狀的照明曝光的設(shè)備。光掩膜的行進速度是每秒兩米的高速度，從旁邊看會相當駭人。

關(guān)于步進機的運作，從光掩膜與裝載著晶片的平臺在行進時要求的精度進行思考就更好理解了。要把45納米超精細半導(dǎo)體設(shè)備正確成像在晶體上，對精度的要求是6~7納米。這就好比兩架戰(zhàn)斗機以2馬赫的速度一前一后行駛，同時兩機中間夾著一只跳蚤，行駛過程中既不能讓跳蚤掉下去，又不能把跳蚤擠死——就相當于這樣的精度。