那些清華人：中國(guó)造芯故事掠影

芯片被人形象地比喻為國(guó)家的“工業(yè)糧食”，是信息產(chǎn)業(yè)的核心，是所有電子整機(jī)設(shè)備的“心臟”。20世紀(jì)90年代至今，人們先后經(jīng)歷了從PC（個(gè)人計(jì)算機(jī)）到智能手機(jī)，再到5G+AIoT時(shí)代，并且隨著我國(guó)成為全球智能手機(jī)、家電、各種智能電子產(chǎn)品等的制造和組裝中心，芯片需求量更是日益激增，芯片進(jìn)口金額早已遠(yuǎn)超石油。而近年來(lái)海外巨頭卻頻頻在核“芯”技術(shù)上“卡脖子”，中興、華為事件就是美國(guó)針對(duì)中國(guó)“芯”病的“精確狙擊”。

可以說(shuō)，芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，芯片產(chǎn)業(yè)是新時(shí)代下中國(guó)輸不起的戰(zhàn)爭(zhēng)。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)上升為國(guó)家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)；對(duì)此，中國(guó)近幾年在扶持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的政策、資金等層面不斷加碼。2014年至今，國(guó)家先后出臺(tái)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》、“十三五”“十四五”集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、各種稅收優(yōu)惠政策、國(guó)家大基金一、二期等政策，全力支持中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主可控。

我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)隨之進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)代，“中國(guó)芯”紛紛實(shí)現(xiàn)重大突破。在芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)以及上游材料和設(shè)備的一整條垂直分工的全球產(chǎn)業(yè)鏈中，被形容為“半導(dǎo)體制造之光”的中芯國(guó)際、華虹宏力、華潤(rùn)微、上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)（滬硅產(chǎn)業(yè)）等半導(dǎo)體制造領(lǐng)域企業(yè)，因承擔(dān)了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的遠(yuǎn)大目標(biāo)而備受關(guān)注。

在這些企業(yè)中，眾多杰出的關(guān)鍵決策者出自清華大學(xué)，有78級(jí)無(wú)線電電子學(xué)系的江上舟、張文義；82級(jí)熱能工程系的張素心；83級(jí)無(wú)線電電子學(xué)系的趙海軍、工程物理系王曦；89級(jí)機(jī)械工程系的李煒等，為鑄就“中國(guó)芯”貢獻(xiàn)了一腔熱血，畢生熱情。他們的拼搏故事也在“中國(guó)芯”制造史上寫(xiě)下了濃墨重彩的篇章，正是實(shí)踐清華校歌“大同爰躋，祖國(guó)以光”的最生動(dòng)的寫(xiě)照。

李煒：堅(jiān)守國(guó)產(chǎn)硅片領(lǐng)域20年

半導(dǎo)體硅片是芯片制造的重要材料，是集成電路大廈的基礎(chǔ)，也是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈與國(guó)際先進(jìn)水平差距最大的環(huán)節(jié)之一。特別是12英寸大硅片領(lǐng)域，在2017年以前甚至完全處于空白的狀態(tài)。這一格局在2017年底被悄然打破，國(guó)家02專項(xiàng)300mm（12英寸）大硅片項(xiàng)目的承擔(dān)主體——上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司（下文簡(jiǎn)稱為“上海新昇”）率先實(shí)現(xiàn)12英寸大硅片量產(chǎn)，填補(bǔ)了這一空白。

2002年上海國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)上，李煒向時(shí)任中科院院長(zhǎng)路甬祥院士介紹新傲科技開(kāi)發(fā)的SOI產(chǎn)品

上海新昇成立于2014年，其主要?jiǎng)?chuàng)始人之一是中科院院士、時(shí)任中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所（簡(jiǎn)稱“中科院上海微系統(tǒng)所”）所長(zhǎng)的王曦。與王曦一起參與創(chuàng)辦上海新昇的還有現(xiàn)任滬硅產(chǎn)業(yè)執(zhí)行副總裁、上海新昇董事長(zhǎng)李煒。20年前，同樣是由王曦和李煒等組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)建成了我國(guó)第一條SOI生產(chǎn)線，解決了我國(guó)SOI產(chǎn)品的有無(wú)問(wèn)題。

值得一提的是，王曦和李煒都是清華大學(xué)校友，前者于1987年畢業(yè)自工程物理系，后者于1989年考入機(jī)械工程系。

師兄弟會(huì)師中科院上海微系統(tǒng)所

李煒報(bào)考清華大學(xué)時(shí)填報(bào)了三個(gè)志愿，分別是電機(jī)工程系、微電子系和機(jī)械工程系；結(jié)果他沒(méi)有如愿考入前兩個(gè)志愿，反而以名列前茅的成績(jī)被招入機(jī)械工程系深造。但李煒與集成電路的緣分似乎早已注定，10年之后，他兜兜轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)還是回到了微電子領(lǐng)域成了一名博士。

1997年，碩士畢業(yè)的李煒報(bào)考了中科院上海微系統(tǒng)所的博士，成為鄒世昌的弟子。彼時(shí)，鄒世昌院士事務(wù)繁忙，學(xué)生眾多，難以做到手把手指導(dǎo)每一位學(xué)生。同出自鄒世昌門下的王曦，便承擔(dān)起了教導(dǎo)師弟的重任，成為李煒事實(shí)上的第二導(dǎo)師。不過(guò)，因?yàn)槟菚r(shí)候王曦正在德國(guó)做訪問(wèn)學(xué)者，導(dǎo)致最初一年兩人只能遠(yuǎn)程聯(lián)系，直到1998年王曦受邀提前歸國(guó)，兩人才正式見(jiàn)面。此后，在國(guó)產(chǎn)硅片自主可控之夢(mèng)的引導(dǎo)下，兩位同門踏上了攜手創(chuàng)業(yè)的艱難征程。

1998年8月，IBM宣布首次利用SOI（絕緣體上硅）材料研制出高速、低功耗、高可靠的微處理器；與傳統(tǒng)體硅CMOS技術(shù)相比，SOI技術(shù)使芯片性能提升了35%。消息一出，全球轟動(dòng)，美國(guó)《科學(xué)》（Science）雜志、中國(guó)央視新聞聯(lián)播等媒體相繼作了報(bào)道。

作為微電子敏感核心技術(shù)，西方國(guó)家在該項(xiàng)技術(shù)方面對(duì)我國(guó)實(shí)施封鎖和禁運(yùn)。但SOI其實(shí)并非新課題，我國(guó)材料科學(xué)界從1980年代起就在研究SOI材料，只是從未走出實(shí)驗(yàn)室。當(dāng)IBM向全世界展現(xiàn)了SOI產(chǎn)業(yè)化的價(jià)值后，我國(guó)開(kāi)始致力于將該技術(shù)推向市場(chǎng)。時(shí)任中科院上海微系統(tǒng)所所長(zhǎng)的江綿恒博士將任務(wù)交給了王曦和李煒等6位博士。由6位青年博士組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)在2001年7月創(chuàng)立了上海新傲科技有限公司（簡(jiǎn)稱“新傲科技”），開(kāi)始了艱難的SOI材料產(chǎn)業(yè)化道路。

2002年新傲科技生產(chǎn)線落成，時(shí)任中科院副院長(zhǎng)、微系統(tǒng)所所長(zhǎng)江綿恒博士接見(jiàn)新傲創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)合影留念

“我在新傲十幾年的工作，就是想辦法去找錢”

“這一步是在江綿恒所長(zhǎng)鼓勵(lì)下，我們戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢踏出去的。新傲科技到今年20年了，當(dāng)中甜酸苦辣咸全有，甜比較少，更多的是苦辣咸。”時(shí)隔20年，李煒這樣描述創(chuàng)立上海新傲的歷程。

新傲科技創(chuàng)立之初通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新解決了我國(guó)航空領(lǐng)域急需SOI產(chǎn)品的有無(wú)問(wèn)題，但科技創(chuàng)新不但要仰望星空，也要腳踏實(shí)地，從科學(xué)技術(shù)到產(chǎn)業(yè)成果，一頭連接著科研，一頭連接著市場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)這樣的角色轉(zhuǎn)變并不容易。