步進(jìn)機(jī)的構(gòu)造，簡(jiǎn)單說(shuō)來(lái)，就是與顯微鏡正相反。顯微鏡是將細(xì)小的物質(zhì)通過(guò)鏡頭擴(kuò)大的機(jī)器；步進(jìn)機(jī)正相反，是將描畫(huà)在原板（光掩膜）上的電路圖通過(guò)鏡頭縮小，并復(fù)制在晶片上做成半導(dǎo)體芯片。以前的主流做法是將原板直接焊接到晶片上，但隨著微縮化程度的發(fā)展，半導(dǎo)體芯片的制作又有了新的方法。

由于使用投影鏡頭一次可曝光的面積有限，因此是讓載有晶片的平臺(tái)以縱橫方向按照步進(jìn)方式移動(dòng)、停止，復(fù)寫(xiě)曝光位置的信息。這樣制作一張晶體芯片需要上百次來(lái)回地移動(dòng)復(fù)寫(xiě)。這種復(fù)寫(xiě)技術(shù)被稱為“步進(jìn)與重復(fù)”，后來(lái)衍生出“步進(jìn)機(jī)”這個(gè)名詞。

復(fù)寫(xiě)作業(yè)的速度特別快，比眨下眼還快。特別是最近的步進(jìn)機(jī)有“掃描機(jī)”之稱，光掩膜與晶片逆向行進(jìn)，同時(shí)借由狹縫狀的照明進(jìn)行掃描曝光。