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內(nèi)容簡介

　　本書第一部分第1-4章描述了用于測量角度和位移的光學(xué)傳感器，它們是精確納米測量的基本量。提出了用于改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術(shù)以及開發(fā)了新的多軸感測方法。第二部分第5-10章介紹了許多用于表面形狀和臺階運(yùn)動的精確納米測量的掃描型測量系統(tǒng)。在納米制造中，最基本的幾何形狀——直線度和圓度測量的誤差分離算法和系統(tǒng)，在第五章和第六章中進(jìn)行了介紹。在第七章中，描述了微觀非球面的測量，這需要掃描機(jī)理和探測技術(shù)的發(fā)展。在第8章和第9章中，描述了基于掃描探針顯微鏡的新型系統(tǒng)，用于針對新的、重要的納米制造的微小挑戰(zhàn)和納米結(jié)構(gòu)的精確納米測量。第10章介紹掃描式圖像傳感器系統(tǒng)，它可以對長結(jié)構(gòu)的微小尺寸進(jìn)行快速，準(zhǔn)確的測量。

作者簡介

　　李雷，男，2014年畢業(yè)后進(jìn)入中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院工作，歷任計量與檢測中心助理工程師、工程師，現(xiàn)任計量與檢測中心制造與長熱力組組長。主要從事微電子領(lǐng)域發(fā)展規(guī)劃編寫、前沿技術(shù)研究、軍工計量科研攻關(guān)、設(shè)備檢定與校準(zhǔn)工作。

圖書目錄

1測量表面坡度和傾斜運(yùn)動的角度傳感器

1.1簡介；1.2帶有象限光電二極管的角度傳感器；1.3帶有光電二極管陣列的角度傳感器；1.4帶有單元光電二極管的角度傳感器；1.5小結(jié)；1.6參考

2用于測量多軸傾斜運(yùn)動的激光自準(zhǔn)直儀

2.1引言；2.2雙軸激光自準(zhǔn)直儀；2.3單鏡頭激光微自準(zhǔn)直儀；2.4三軸激光自準(zhǔn)直儀；2.5總結(jié)

3用于測量面內(nèi)運(yùn)動的表面編碼器

3.1引言；3.2用于MDOF面內(nèi)運(yùn)動的表面編碼器；3.3兩軸正弦網(wǎng)格表面編碼器的制造；3.4表面編碼器在表面電機(jī)驅(qū)動平面階段的應(yīng)用；3.5總結(jié)；3.6參考文獻(xiàn)

4用于測量平面內(nèi)和平面外運(yùn)動的光柵編器

4.1介紹；4.2二自由度線性光柵編碼器；4.3帶正弦網(wǎng)格的三軸光柵編碼器；4.4矩形XY網(wǎng)格的三軸光柵編碼器；4.5總結(jié)；4.6參考文獻(xiàn)

5測量圓度的掃描多探針系統(tǒng)

5.1介紹；5.2坡度傳感器方法；5.3混合方法；5.4總結(jié)；5.5參考文獻(xiàn)

6測量直線度的掃描誤差分離系統(tǒng)

6.1簡介；6.2具有自調(diào)零的三位移傳感器方法；6.3機(jī)床滑塊的誤差分離方法；6.4總結(jié)；6.5參考

7微型非球面的測量的掃描微型手寫筆系統(tǒng)

7.1簡介；7.2掃描錯誤動作補(bǔ)償；7.3微型探針；7.4微型非球面的小型測量儀器；7.5總結(jié)；7.6參考文獻(xiàn)

8用于微紋理表面的大面積掃描探針顯微鏡

8.1簡介；8.2電容式傳感器補(bǔ)償掃描探針顯微鏡；8.3線性編碼器補(bǔ)償掃描探針顯微鏡；8.4螺旋掃描探針顯微鏡；8.5總結(jié)；8.6參考

9測量三維納米結(jié)構(gòu)的自動對準(zhǔn)掃描探針顯微鏡系統(tǒng)

9.1簡介；9.2自動對準(zhǔn)光學(xué)探針；9.3自動對準(zhǔn)AFM的儀器；9.4小結(jié)；9.5參考

10用于測量微小尺寸的掃描圖像傳感器系統(tǒng)

10.1介紹；10.2微寬度測量的掃描區(qū)域圖像傳感器；10.3微小半徑測量的掃描線圖像傳感器；10.4總結(jié)；10.5參考