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內(nèi)容簡介

　　本書以自然辯證法的三大規(guī)律為指導(dǎo)思想來論述掃描電鏡的基本原理，通過充分且翔實(shí)的實(shí)例向讀者介紹掃描電鏡的基本操作規(guī)程、測試條件的合理選擇、疑難問題的成因和合適的應(yīng)對策略。此外，本書還就測試過程中出現(xiàn)的各種表象，通過改變測試條件，對其進(jìn)行細(xì)致且深入的分析，幫助讀者系統(tǒng)地認(rèn)識掃描電鏡，正確掌握掃描電鏡的操作技巧和分析問題、解決問題的方法。本書在理論探討上力求簡單明了，在實(shí)戰(zhàn)操作上做到翔實(shí)充分，適合各大院校、科研院所相關(guān)專業(yè)的學(xué)生，相關(guān)企業(yè)的研發(fā)人員，以及掃描電鏡領(lǐng)域的從業(yè)人員參考閱讀。

作者簡介

　　林中清1987年入職安徽大學(xué)現(xiàn)代實(shí)驗技術(shù)中心，從事掃描電鏡管理及測試工作。1989年開始管理中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所的DX-10掃描電鏡，2009年開始管理日立S-4800冷場發(fā)射掃描電鏡。長期的掃描電鏡操作經(jīng)歷，讓他逐漸形成對掃描電鏡的新認(rèn)識，建立起特有的理論體系，并在大量的實(shí)踐中，發(fā)現(xiàn)新的測試現(xiàn)象。此外，他還能夠?qū)?fù)雜樣品的測試提供相應(yīng)的解決方案，逐步在業(yè)界建立起聲望。2011年在利用Photoshop對掃描電鏡圖片進(jìn)行偽彩處理方面取得一些成績，他的顯微攝影作品分別被《中國衛(wèi)生影像》《科學(xué)畫報》《中國國家地理》等雜志收錄，并在顯微攝影大賽中多次獲獎。李文雄2005年進(jìn)入電子顯微鏡行業(yè)，曾任職于基恩士，后擔(dān)任蔡司顯微鏡華南區(qū)經(jīng)理，與中山大學(xué)、華南理工大學(xué)、廈門大學(xué)建立了良好的合作關(guān)系?，F(xiàn)任日立科學(xué)儀器（北京）有限公司北京辦事處總經(jīng)理。從業(yè)以來，努力將碎片化的管理經(jīng)驗進(jìn)行系統(tǒng)化梳理，現(xiàn)就讀于中國人民大學(xué)商學(xué)院EMBA，擔(dān)任中國人民大學(xué)商學(xué)院EMBA北京校友會副秘書長。張希文2012年加入日立高新先端分析裝置部，負(fù)責(zé)日立電子顯微鏡的售后服務(wù)工作，并于同年被派往日立電子顯微鏡生產(chǎn)工廠學(xué)習(xí)。先后負(fù)責(zé)日立電子顯微鏡的售后、售前技術(shù)支持工作。任職期間為國內(nèi)電鏡從業(yè)者提供多次現(xiàn)場培訓(xùn)，幫助從業(yè)者提升專業(yè)知識，并獲得多種產(chǎn)品的維修技術(shù)認(rèn)證。此外，還開拓了聚焦離子束電鏡等新型號產(chǎn)品的市場，并獲得公司本部長獎項。

圖書目錄

第 1 章　掃描電鏡的定義及其工作原理 1
1．1　掃描電鏡的定義 1
1．1．1　顯微鏡與電子顯微鏡 1
1．1．2　掃描電鏡與透射電鏡 2
1．2　掃描電鏡的組成及其工作原理 5
1．2．1　掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及功能 6
1．2．2　掃描電鏡的工作原理 27
第 2 章　掃描電鏡的相關(guān)理論知識 29
2．1 掃描電鏡的信息源 29
2．1．1　物質(zhì)的組成 30
2．1．2　高能電子束對樣品信息的激發(fā) 32
2．2 放大倍率 40
2．3 分辨力 42
2．4 掃描電鏡的圖像襯度和表面形貌像的形成 46
2．4．1　形貌襯度 47
2．4．2　二次電子襯度和邊緣效應(yīng) 58
2．4．3　電位襯度 62
2．4．4　Z 襯度 65
2．4．5　晶粒取向襯度 69
2．5　掃描電鏡圖像的清晰度和辨析度 71
2．5．1　圖像襯度與清晰度的關(guān)系 73
2．5．2　圖像的放大倍率與辨析度的關(guān)系 75
2．5．3　圖像的放大倍率與清晰度的關(guān)系 75
2．5．4　圖像辨析度與清晰度的辯證關(guān)系 77
2．5．5　實(shí)例的展示及探討 79
2．5．6　總結(jié) 86
第 3 章　掃描電鏡測試面臨的幾個問題 89
3．1　樣品的荷電現(xiàn)象 89
3．1．1　荷電現(xiàn)象的成因 91
3．1．2　荷電現(xiàn)象的 3 種表現(xiàn)形式 94
3．1．3　加速電壓和束流強(qiáng)度對樣品荷電現(xiàn)象的影響 99
3．1．4　如何應(yīng)對樣品的荷電現(xiàn)象 105
3．1．5　總結(jié) 114
3．2　樣品熱損傷的成因及應(yīng)對方法 116
3．2．1　樣品熱損傷的成因 116
3．2．2　如何應(yīng)對樣品熱損傷 120
3．3　磁性材料的測試方案 123
3．3．1　什么是磁性材料 124
3．3．2　電磁透鏡對各種磁性材料的影響 126
3．3．3　如何判斷樣品的磁特性 128
3．3．4　如何對磁性較強(qiáng)的樣品進(jìn)行測試 129
3．3．5　使用半內(nèi)透鏡物鏡測試磁性樣品的實(shí)例 130
3．3．6　總結(jié) 131
3．4　碳污染及其應(yīng)對 133
3．4．1　碳污染的成因 133
3．4．2　碳污染的應(yīng)對 134
第 4 章　掃描電鏡的操作要領(lǐng)及測試條件的選擇 139
4．1　掃描電鏡的操作要領(lǐng) 139
4．1．1　對中 139
4．1．2　消像散 141
4．1．3　對焦 142
4．1．4　調(diào)整亮度和對比度 142
4．1．5　調(diào)整位置的選擇 144
4．2　掃描電鏡工作距離和探頭的選擇 145
4．2．1　工作距離和探頭的選擇與形貌襯度的形成 146
4．2．2　不同工作距離與探頭組合的優(yōu)缺點(diǎn) 160
4．2．3　不同工作距離與探頭組合的成像結(jié)果對比 161
4．3　掃描電鏡的加速電壓與束流強(qiáng)度的選擇 175
4．3．1　加速電壓與分辨力的關(guān)系 176
4．3．2　加速電壓與樣品中信息分布的關(guān)系 178
4．3．3　加速電壓對形貌像荷電現(xiàn)象的影響 181
4．3．4　束流強(qiáng)度的選擇 182
4．3．5　電子槍本征亮度對加速電壓和束流強(qiáng)度選擇的影響 186
附錄　本書中與掃描電鏡相關(guān)的概念及其說明 189
后記193