納米加工技術(shù)與原理

　　《納米加工技術(shù)與原理》的出版是因?yàn)槲覀円庾R(shí)到微納結(jié)構(gòu)加工的新知識(shí)層出不窮，現(xiàn)有數(shù)據(jù)庫中逐漸出現(xiàn)了空白。目前，已經(jīng)非常完善但仍然在高速發(fā)展的微電子加工技術(shù)讓我們擁有了一系列對(duì)半導(dǎo)體、絕緣體及金屬等薄膜進(jìn)行沉積、圖形化及刻蝕的工具和方法，這些工具和方法在許多文獻(xiàn)和書籍中都有詳細(xì)的描述和記錄，也持續(xù)在新興的納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)揮著巨大的作用。然而，除了這些已經(jīng)存在的方法外，近些年來針對(duì)納米尺度與精度的結(jié)構(gòu)加工涌現(xiàn)了眾多新工具，其中，如原子層沉積，已經(jīng)逐漸在微電子生產(chǎn)線上獲得應(yīng)用。也有部分尖端工具，如氦離子束納米加工，在未來短期內(nèi)不太可能實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)，但是作為一類強(qiáng)大的工具，它們可以制作以前無法想象的納米器件。介于二者之間，還有許多技術(shù)到目前為止仍沒有出現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)的微納加工手冊(cè)中，這些技術(shù)的共同特征是能夠?qū)ξ镔|(zhì)進(jìn)行近原子尺度和精度的結(jié)構(gòu)加工。因此，我們認(rèn)為有必要將這些技術(shù)編寫成一本參考書，作為對(duì)以前那些專門描述先進(jìn)CMOS集成電路工藝的書籍的補(bǔ)充。該書不會(huì)對(duì)CMOS工藝進(jìn)行介紹，并不是因?yàn)樗鼈儾粚儆凇罢嬲募{米加工方法”，而是因?yàn)樗鼈冊(cè)谶^去很多年是緩慢演化而來的，大家已經(jīng)比較熟悉，有很多其他的書籍進(jìn)行了專門介紹?！都{米加工技術(shù)與原理》兼顧了納米加工的基礎(chǔ)原理和應(yīng)用實(shí)例。潛在的讀者，即所有對(duì)納米結(jié)構(gòu)加工新方法感興趣的人員，包括工業(yè)界的工藝工程師、學(xué)術(shù)研究人員、研究生及高年級(jí)本科生。該書也可以作為教材為研究生開設(shè)一個(gè)學(xué)期的納米加工方面的課程，盡管不是專門為教學(xué)目標(biāo)而編寫。

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