多晶硅生產技術（第二版）

緒論1
0.1改良西門子法生產多晶硅1
0.2其他多晶硅生產方法4

項目一氣體的制備與凈化6
任務一氣體的制備7
任務二氣體凈化19
【小結】28
【習題】29

項目二三氯氫硅的合成30
任務一液氯汽化31
任務二氯化氫的合成39
任務三三氯氫硅的合成46
【小結】66
【習題】66

項目三三氯氫硅精餾提純68
任務一精餾提純原理及相關計算68
任務二精餾提純設備95
任務三精餾提純工藝102
任務四精餾提純操作104
任務五設備、管道的檢修118
任務六故障處理121
【小結】128
【習題】128

項目四三氯氫硅氫還原制備高純硅130
任務一知識準備130
任務二三氯氫硅氫還原工藝、核心設備結構及操作136
任務三設備、管道保養(yǎng)與維護151
任務四還原工序常見故障判斷與處理155
任務五三氯氫硅氫還原工序產品質量要求及控制157
【小結】166
【習題】166

項目五尾氣干法回收168
任務一還原尾氣干法回收知識準備170
任務二識讀還原尾氣干法回收工藝流程173
任務三尾氣干法回收主要設備174
任務四設備準備及安全檢查183
任務五尾氣干法回收原輔材料準備185
任務六尾氣干法回收關鍵及核心設備操作187
任務七尾氣回收故障處理192
任務八設備、管道保養(yǎng)與維護193
【小結】197
【習題】197

項目六四氯化硅的綜合利用與處理199
任務一認識四氯化硅200
任務二四氯化硅氫化回收202
任務三四氯化硅處理的其他技術211
【小結】214
【習題】214

項目七硅芯的制備與腐蝕216
任務一硅芯的制備217
任務二硅芯腐蝕222
【小結】224
【習題】224

項目八純水的制備225
任務一純水制備225
任務二超純水制備238
任務三純水測量242
【小結】248
【習題】248

參考文獻249