納米制造的基礎(chǔ)研究

第1章
項目概況
1．1 項目介紹
1．2 項目布局
1．3 取得的重大進(jìn)展
第2章
國內(nèi)外研究情況
2．1 納米制造的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
2．2 納米制造的國家戰(zhàn)略需求與發(fā)展趨勢
2．3 我國納米制造發(fā)展態(tài)勢
第3章
納米／亞納米精度制造
3．1 原子層材料去除理論模型與方法
3．2 納米精度制造的重要工程應(yīng)用
3．3 納米精度制造的工藝裝備
第4章
宏微納跨尺度結(jié)構(gòu)一致性制造
4．1 電場驅(qū)動納米壓印原理與方法
4．2 半導(dǎo)體材料的電化學(xué)納米壓印原理與方法
4．3 大幅面納米尺度結(jié)構(gòu)的壓印制造裝備
4．4 功能化大面積納米結(jié)構(gòu)的工程應(yīng)用
第5章
納米結(jié)構(gòu)與器件跨尺度集成制造
5．1 自約束納米加工的高精度可控制造
5．2 外場誘導(dǎo)三維微納結(jié)構(gòu)制造
5．3 功能納米結(jié)構(gòu)的按需區(qū)域構(gòu)筑
5．4 二維材料納米結(jié)構(gòu)的可控加工方法
5．5 跨尺度制造的重要工程應(yīng)用
第6章
激光微納制造新方法
6．1 超快激光時空整形微納加工新原理、新方法
6．2 超快激光微納制造過程的多時間尺度觀測
6．3 激光微納制造的重要工程應(yīng)用
6．4 激光微納制造裝備
第7章
其他納米制造原理與技術(shù)突破
7．1 功能納米材料／結(jié)構(gòu)的制備與應(yīng)用
7．2 納米結(jié)構(gòu)的無掩膜制造
7．3 新型納米器件制造
7．4 納米制造中的精度計量與溯源
第8章
展望
8．1 我國納米制造存在的不足和戰(zhàn)略需求
8．2 納米制造持續(xù)研究的設(shè)想和建議
參考文獻(xiàn)
成果附錄
附錄1 重要論文目錄
附錄2 獲得國家科學(xué)技術(shù)獎勵項目一覽表
附錄3 代表l生發(fā)明專利一覽表
索引