準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法在納米壓痕中的應(yīng)用

目錄
序
前言
第1章 緒論 1
1.1 背景 1
1.2 納米材料和科學(xué) 3
1.2.1 納米材料的分類及其研究內(nèi)容 3
1.2.2 數(shù)值模擬納米材料 5
1.2.3 納米材料的特性 9
1.2.4 納米材料的應(yīng)用 9
1.2.5 納米科學(xué) 10
1.3 納米力學(xué) 10
1.3.1 納米力學(xué)理論 11
1.3.2 實(shí)驗(yàn)納米力學(xué) 11
1.3.3 計(jì)算納米力學(xué) 12
1.4 意義 14
參考文獻(xiàn) 14
第2章 多尺度材料模型及準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法 19
2.1 引言 19
2.2 多尺度材料模型基本理論 20
2.2.1 多尺度分析方法的一般描述 20
2.2.2 尺度科學(xué)計(jì)算中的基本問題和計(jì)算方案 22
2.2.3 多尺度模型協(xié)同算法 22
2.3 多尺度準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法的基本原理 25
2.3.1 原子模型的建立 26
2.3.2 系統(tǒng)的總能量 28
2.3.3 代表性原子的選取 28
2.3.4 代表性原子與準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)勢(shì)能的計(jì)算 29
2.3.5 簡化的系統(tǒng)總能量 31
2.4 準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法 32
2.4.1 減少自由度 32
2.4.2 局部 QC方法 33
2.4.3 非局部 QC方法 34
2.4.4 局部/非局部區(qū)域的判定 34
2.4.5 局部/非局部界面耦合 35
2.4.6 “魔力” 的產(chǎn)生及修正 36
2.4.7 網(wǎng)格自適應(yīng) 39
2.5 準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法的應(yīng)用 40
2.5.1 納米壓痕 40
2.5.2 納米接觸 42
2.5.3 斷裂 44
2.5.4 晶界變形 45
2.6 準(zhǔn)連續(xù)介質(zhì)法的應(yīng)用和發(fā)展 46
參考文獻(xiàn) 47
第3章 納米壓痕技術(shù) 53
3.1 納米壓痕研究概況 53
3.1.1 納米壓痕的實(shí)驗(yàn)研究 53
3.1.2 納米壓痕的數(shù)值研究 54
3.2 納米壓痕技術(shù)的理論方法 56
3.2.1 Oliver和 Pharr方法 57
3.2.2 應(yīng)變梯度塑性理論 59
3.3 納米壓痕技術(shù)基本原理 62
3.3.1 壓頭幾何形狀的選擇 62
3.3.2 確定材料硬度（H）和彈性模量（E） 63
3.3.3 接觸剛度（S）與壓入深度（h）的關(guān)系 63
3.4 納米壓痕技術(shù)的應(yīng)用 64
參考文獻(xiàn) 65
第4章 單晶銅與單晶鋁納米壓痕初始塑性變形過程模擬 71
4.1 引言 71
4.2 剛性圓柱壓頭納米壓痕計(jì)算模型 73
4.3 剛性圓柱壓頭模擬結(jié)果與討論 74
4.3.1 剛性圓柱壓頭載荷-位移曲線 74
4.3.2 接觸剛度-位移曲線 78
4.3.3 納米硬度-位移曲線 78
4.3.4 彈性模量-位移曲線 79
4.4 剛性矩形壓頭納米壓痕計(jì)算模型 80
4.5 剛性矩形壓頭模擬結(jié)果 82
4.5.1 剛性矩形壓頭載荷-位移響應(yīng) 82
4.5.2 位錯(cuò)形核 84
4.5.3 位錯(cuò)的發(fā)射機(jī)制 86
4.5.4 幾何必須位錯(cuò)密度 88
參考文獻(xiàn) 88
第5章 缺陷對(duì)納米壓痕過程的影響 90
5.1 初始表面缺陷對(duì)納米壓痕過程的影響 92
5.1.1 納米壓痕多尺度計(jì)算模型 92
5.1.2 模擬結(jié)果與分析 93
5.1.3 討論 96
5.2 表面粗糙程度對(duì)力學(xué)參量測(cè)量的影響 101
5.2.1 計(jì)算及理論模型 101
5.2.2 壓頭尺寸的影響結(jié)果與分析 104
參考文獻(xiàn) 107
第6章 晶格各向異性及壓頭尺寸對(duì)納米壓痕過程的影響 111
6.1 剛性矩形壓頭納米壓痕多尺度計(jì)算模擬 113
6.1.1 納米壓痕模型 113
6.1.2 納米壓痕方向選擇 113
6.1.3 模擬結(jié)果與分析 114
6.1.4 討論 120
6.2 納米壓痕壓頭尺寸效應(yīng)分析 128
6.2.1 納米壓痕計(jì)算模型 128
6.2.2 結(jié)果及討論 130
參考文獻(xiàn) 135
第7章 雙層薄膜納米壓痕過程 139
7.1 層間界面對(duì)納米壓痕過程的影響 139
7.1.1 雙層薄膜納米壓痕多尺度計(jì)算模型 140
7.1.2 模擬結(jié)果與分析 141
7.1.3 討論 144
7.2 界面結(jié)構(gòu)對(duì)雙層薄膜納米壓痕過程的影響 148
7.2.1 Cu-Ag雙層薄膜系統(tǒng)納米壓痕多尺度計(jì)算模型 149
7.2.2 模擬結(jié)果與分析 151
7.2.3 討論 159
參考文獻(xiàn) 164
第8章 微電子機(jī)械系統(tǒng)納米接觸過程的微觀變形機(jī)制 168
8.1 微電子機(jī)械系統(tǒng) 168
8.2 楔形壓頭與光滑表面基體之間的納米接觸過程 176
8.2.1 光滑表面接觸模型 176
8.2.2 模擬結(jié)果與分析 177
8.2.3 討論 182
8.3 楔形壓頭與粗糙表面基體之間的納米接觸過程 188
8.3.1 單粗糙峰接觸模型 189
8.3.2 多粗糙峰表面接觸模型 194
參考文獻(xiàn) 203