微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)（原書第2版）

　　相對(duì)于人們對(duì)涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術(shù)發(fā)展得非?？?。只有深刻掌握其基本原理，才能促進(jìn)MEMS技術(shù)的提高，才有可能進(jìn)行微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造，并讓其在現(xiàn)有的和設(shè)想的各個(gè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本書是MEMS手冊(cè)中的基礎(chǔ)部分，提供有關(guān)MEMS理論和技術(shù)基礎(chǔ)的文獻(xiàn)和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學(xué)、流體力學(xué)、力學(xué)、光學(xué)、電、潤(rùn)滑，還包含了控制理論、分布式控制及軟計(jì)算的內(nèi)容。這些內(nèi)容涉及未來(lái)應(yīng)用的各種重要基礎(chǔ)知識(shí)，將其應(yīng)用于微傳感器和微執(zhí)行器能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)約能源的有效控制并提高人工裝置性能。本書可供MEMS技術(shù)人員和設(shè)計(jì)人員使用，也可供MEMS專業(yè)的高年級(jí)本科生和研究生參考。

　　Mohamed Gad-el-Hak，1966年于艾因·夏姆斯大學(xué)（埃及）獲得了他的學(xué)士學(xué)位（成績(jī)優(yōu)異），1973年從約翰·霍普金斯大學(xué)獲得他的流體力學(xué)博士學(xué)位，在那里他與Stanley Corrsin教授一起工作。Gad-el-Hak此后在南加州大學(xué)、弗吉尼亞大學(xué)、圣母大學(xué)、格勒諾布爾國(guó)立理工學(xué)院、普瓦捷大學(xué)、埃爾朗根-紐倫堡的弗里德里希-亞歷山大大學(xué)、慕尼黑工業(yè)大學(xué)和柏林工業(yè)大學(xué)進(jìn)行過(guò)教學(xué)和研究活動(dòng)，并在美國(guó)和海外研討會(huì)廣泛地演講。Gad-el-Hak博士目前是位于里士滿的弗吉尼亞聯(lián)邦大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程系的伊內(nèi)茲考迪爾教授和機(jī)械工程系的首席教授。在被圣母大學(xué)任命為航空航天和機(jī)械工程系教授之前，Gad-el-Hak是華盛頓州西雅圖一個(gè)流量研究公司的高級(jí)研究科學(xué)家和項(xiàng)目經(jīng)理，在那里他管理各種空氣動(dòng)力學(xué)和流體動(dòng)力學(xué)研究項(xiàng)目。Gad-el-Hak教授由于開發(fā)出幾個(gè)新的湍流診斷工具而聞名世界，其中包括激光誘導(dǎo)熒光（LIF）技術(shù)實(shí)現(xiàn)流體的可視化；發(fā)現(xiàn)了通過(guò)不穩(wěn)定的周圍平流層實(shí)現(xiàn)湍流區(qū)快速增長(zhǎng)的高效機(jī)制；開創(chuàng)性地進(jìn)行了有關(guān)湍流邊界層的流體與柔性表面相互作用的實(shí)驗(yàn)；引入目標(biāo)控制概念，實(shí)現(xiàn)了壁面邊界流動(dòng)的阻力減小、升力增強(qiáng)和混合增強(qiáng)；以及開發(fā)出一種新型的黏性泵以適合微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的應(yīng)用。Gad-el-Hak于1994年發(fā)表的湍流邊界層Reynolds數(shù)效應(yīng)工作是該主題范式轉(zhuǎn)變的標(biāo)志。他于1999年發(fā)表的微型器件流體力學(xué)的論文為該新興領(lǐng)域建立了堅(jiān)實(shí)的物理根基，是20世紀(jì)90年代被引用多的文章之一。Gad-el-Hak擁有兩項(xiàng)專利：一個(gè)是飛機(jī)和潛水器的減阻方法，另外一個(gè)是用于三角翼的上升控制裝置。Gad-el-Hak博士發(fā)表了超過(guò)450篇文章，撰寫/編輯了14本書和會(huì)議文集，在各向同性湍流、邊界流動(dòng)、分層流動(dòng)、流體-結(jié)構(gòu)相互作用、柔性膜、非穩(wěn)態(tài)空氣動(dòng)力學(xué)、生物流動(dòng)、非Newtonian流體、硬件和軟計(jì)算包括遺傳算法、流量控制以及微機(jī)電系統(tǒng)的基礎(chǔ)和應(yīng)用研究領(lǐng)域做了250多個(gè)邀請(qǐng)報(bào)告。Gad-el-Hak的論文已經(jīng)在技術(shù)文獻(xiàn)中被引用超過(guò)1000次。他是Flow Control： Passive， Active， and Reactive Flow Management的撰稿人，是Frontiers in Experimental Fluid Mechanics、Advances in Fluid Mechanics Measurements、Flow Control： Fundamentals and Practices， The MEMS Handbook， Transition and Turbulence Control的編輯。Gad-el-Hak教授是美國(guó)力學(xué)會(huì)會(huì)士、美國(guó)物理學(xué)會(huì)會(huì)士和終生成員、美國(guó)機(jī)械工程師學(xué)會(huì)會(huì)士、美國(guó)航空航天研究所助理會(huì)士以及歐洲力學(xué)會(huì)的會(huì)員。近，他被推選為Tau Beta Pi的杰出工程師，Sigma Gamma Tau和Pi Tau Sigma的榮譽(yù)會(huì)員，以及Sigma Xi的自由會(huì)員。1988～1991年，Gad-el-Hak博士擔(dān)任了AIAA雜志的副主編。他目前擔(dān)任e-MicroNanocom主編，是Applied Mechanics Reviews和e-Fluids的副主編，以及Springer-Verlag的Lecture Notes in Engineering和Lecture Notes in Physics，McGraw-Hill的Year Book of Science and Technology和CRC出版社的Mechanical Engineering Series的特約編輯。Gad-el-Hak博士擔(dān)任了埃及、法國(guó)、德國(guó)、意大利、波蘭、新加坡、瑞典、英國(guó)、美國(guó)政府、聯(lián)合國(guó)以及眾多工業(yè)組織的顧問(wèn)。Gad-el-Hak教授一直是美國(guó)國(guó)防部、能源部、航天局和國(guó)家科學(xué)基金會(huì)幾個(gè)咨詢小組的成員。在1991/1992學(xué)年，他在法國(guó)格勒諾布爾法蘭西機(jī)械學(xué)院任客座教授。在1993年、1994年和1997年的夏天， Gad-el-Hak博士分別在羅德島新港海軍水下作戰(zhàn)中心作為杰出教授研究員，在法國(guó)普瓦捷大學(xué)作為訪問(wèn)教授，在德國(guó)德累斯頓的Forschungszentrum Rossendorf作為訪問(wèn)科學(xué)家。1998年， Gad-el-Hak教授被評(píng)為第十四屆ASME弗里曼學(xué)者。1999年，Gad-el-Hak獲得了著名的亞歷山大·馮·洪堡獎(jiǎng)——德國(guó)為美國(guó)所有領(lǐng)域的資深科學(xué)家和學(xué)者頒發(fā)的高科研獎(jiǎng)——以及日本政府為外國(guó)學(xué)者頒發(fā)的研究獎(jiǎng)。2002年，Gad-el-Hak被評(píng)為ASME杰出講師，并入選約翰·霍普金斯大學(xué)學(xué)者協(xié)會(huì)。