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內(nèi)容簡介

　　針對微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快，一些理論、方法及實現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點，《微型傳感器》緊密結(jié)合微傳感器的最新發(fā)展動態(tài)，對熱、輻射、機械、磁、化學量微傳感器的基本理論及實現(xiàn)技術(shù)進行分類闡述，同時介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物?！段⑿蛡鞲衅鳌穾椭x者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識的基礎(chǔ)上，建立微傳感器設計、研究、制作及實驗分析等方面的基本概念。當遇到具體的微傳感器問題時，能查到專業(yè)文獻，能讀懂文獻內(nèi)容，能自行設計實驗，能對實驗結(jié)果進行分析總結(jié)?！段⑿蛡鞲衅鳌匪婕暗奈鞲衅?，是指那些至少有一個物理尺寸在亞毫米量級的傳感器。全書共分10章：引言、微傳感器與信號、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學量微傳感器、輻射量微傳感器、機械量微傳感器、磁微傳感器、化學量微傳感器常用技術(shù)、化學量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取?！段⑿蛡鞲衅鳌房晒└叩裙た圃盒ＮC電系統(tǒng)、測控技術(shù)與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀表等專業(yè)師生使用，也可供從事儀器相關(guān)專業(yè)的研究、設計、制造、使用的工程技術(shù)人員學習和參考。

作者簡介

暫缺《微型傳感器》作者簡介

圖書目錄

1 引言
　1.1　微電子與微傳感器
　　1.1.1 微電子與微器件
　　1.1.2　微傳感器
　　1.1.3 微機電系統(tǒng)
　　1.1.4　微器件的相關(guān)理論與技術(shù)
　1.2　微傳感器與測量系統(tǒng)
　　1.2.1 測量系統(tǒng)
　　1.2.2　微傳感器的分類
　　1.2.3 微傳感器系統(tǒng)
　1.3 本書內(nèi)容的學習
　　1.3.1 專業(yè)文獻的查找
　　1.3.2 專業(yè)文獻的閱讀
　　1.3.3　數(shù)據(jù)的總結(jié)與表達
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　練習與思考
2 微傳感器與信號
　2.1　微傳感器的理想特性及實用中的局限性
　　2.1.1　微傳感器的誤差
　　2.1.2　微傳感器的靜態(tài)特性
　　2.1.3 微傳感器的動態(tài)特性
2.2　微傳感器的標定
　　2.2.1　微傳感器標定的基本概念
　　2.2.2　精度、精密度、誤差、不確定度
　　2.2.3　微傳感器的標定與數(shù)據(jù)處理
　　2.2.4　微傳感器標定實驗的設計
　2.3　微傳感器信號的數(shù)據(jù)獲取
　　2.3.1　微傳感器的信號調(diào)理
　　2.3.2　接口與數(shù)域
　　2.3.3 電阻的檢測
　　2.3.4 電容的檢測
　推薦閱讀
　練習與思考
3　微傳感器的常用材料及加工工藝
　3.1　材料的基本知識
　　3.1.1 材料的基本物理特性
　　3.1.2 導體、半導體和電介質(zhì)材料
　　3.1.3 MEMS常用材料
　3.2　微傳感器的常用材料
　　3.2.1 半導體敏感材料
　　3.2.2　敏感陶瓷材料
　　3.2.3 高分子敏感材料
　　3.2.4　磁性材料
　　3.2.5　微傳感器的封裝
　3.3 常用的微加工技術(shù)
　　3.3.1　硅的刻蝕技術(shù)
　　3.3.2　表面膜的加工工藝
　　3.3.3　硅的平面微加工工藝
　　3.3.4　三維結(jié)構(gòu)的微加工工藝
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　練習與思考
4　熱學量微傳感器
　4.1　基本知識及定義
　　4.1.1　基本的熱學量
　　4.1.2 溫度及其標定
……
5　輻射量微傳感器
6　機械量微傳感器
7　磁微傳感器
8　化學量微傳感器常用技術(shù)
9　化學量微傳感器
10　微傳感器的數(shù)據(jù)獲取
參考文獻