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內(nèi)容簡介

　　本書總結(jié)了過去幾十年里薄膜材料的研究進展，同時將重點放在薄膜中內(nèi)應(yīng)力的起源、發(fā)展及其影響等諸多方面，書中不僅系統(tǒng)考慮了薄膜-基底系統(tǒng)或多層膜系統(tǒng)的整體變形及薄膜的斷裂、脫層和翹曲，而且還考慮了更小尺度上薄膜中位錯的形成及非彈性變形。薄膜中應(yīng)力的影響與薄膜材料結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)系貫穿于整書的討論。通過舉例計算和有實際意義的實例分析及討論，更加具體地闡明了書中的基本概念，并于每章后附有習(xí)題。本書可供從事材料科學(xué)和工程及相關(guān)研究領(lǐng)域工作，特別是從事薄膜材料研究的科技人員和微電子機械領(lǐng)域從事設(shè)計制造的工程技術(shù)人員閱讀，也可作為有關(guān)專業(yè)的研究生和大學(xué)高年級本科生的教材和參考書。本書英文版被美國哈佛大學(xué)、布朗大學(xué)、麻省理工學(xué)院、斯坦福大學(xué)等大學(xué)用作研究生教材。

作者簡介

暫缺《薄膜材料：應(yīng)力、缺陷的形成和表面演化》作者簡介

圖書目錄

第1章引言和總論
　1.1 薄膜組態(tài)分類
　1.2 薄膜沉積方法
　1.3 氣相沉積薄膜的生長方式
　1.4 薄膜微觀結(jié)構(gòu)
　1.5 微電子結(jié)構(gòu)的制備
　1.6 MEMS的結(jié)構(gòu)制備
　1.7 薄膜應(yīng)力源
　1.8 多晶體薄膜的生長應(yīng)力
　1.9 薄膜應(yīng)力的后果
　1.10 習(xí)題
第2章薄膜應(yīng)力和基底曲率
　2.1 Storey方程
　2.2 薄膜厚度對雙層薄膜曲率的影響
　2.3 曲率測量方法
　2.4 層狀和成分梯度薄膜
　2.5 幾何非線性變形范圍
　2.6 平衡形狀的分叉
　2.7 習(xí)題
第3章各向異性和圖形薄膜中的應(yīng)力
　3.1 彈性各向異性
　3.2 立方晶體的彈性常數(shù)
　3.3 非立方晶體的彈性常數(shù)
　3.4 層狀外延生長材料的彈性應(yīng)變
　3.5 一般錯配應(yīng)變的薄膜應(yīng)力
　3.6 薄膜應(yīng)力的X射線衍射測量
　3.7 各向異性薄膜引起的基底曲率
　3.8 壓電薄膜
　3.9 平行薄膜裂紋的周期排列
　3.10 平行線或條紋的周期排列
　3.11 圖形薄膜中應(yīng)力的測量
　3.12 習(xí)題
第4章脫層和斷裂
第5章薄膜的翹曲、鼓包和剝離
第6章外延系統(tǒng)中的位錯形成
第7章位錯交互作用和應(yīng)變馳豫
第8章表面的平衡和穩(wěn)定性
第9章應(yīng)力在傳質(zhì)中的作用
參考文獻
英漢名詞索引