微型傳感器及其應(yīng)用

目錄
第1章引言1
11傳感器1
12傳感器的發(fā)展3
13微傳感器4
第2章微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)7
21微機(jī)電系統(tǒng)定義7
211基礎(chǔ)理論7
212技術(shù)基礎(chǔ)8
213應(yīng)用研究9
22微機(jī)電系統(tǒng)材料10
221硅10
222形狀記憶合金15
223壓電材料／電致伸縮材料16
224磁致伸縮材料17
225電流變體17
226凝膠18
23微機(jī)電系統(tǒng)的主要工藝18
231硅微加工19
232鍵合技術(shù)24
233LIGA技術(shù)25
234準(zhǔn)分子激光技術(shù)26
235特種精密加工技術(shù)26
第3章力和壓力微傳感器28
31力微傳感器28
311應(yīng)變式力微傳感器28
312壓電式力微傳感器28
32壓力微傳感器30
321壓阻式壓力微傳感器31
322電容式壓力微傳感器33
323諧振式壓力微傳感器35
33摩托羅拉X型硅壓力微傳感器38
331結(jié)構(gòu)形式38
332分類(lèi)39
333封裝形式40
34應(yīng)用實(shí)例：微型高度計(jì)41
第4章加速度和角速度微傳感器45
41加速度微傳感器45
411加速度微傳感器工作原理45
412壓阻式加速度微傳感器46
413電容式加速度微傳感器50
414諧振式加速度微傳感器55
415伺服式加速度微傳感器57
416隧道型加速度微傳感器58
417加速度微傳感器的應(yīng)用59
42角速度微傳感器60
421微機(jī)械陀螺的原理.分類(lèi)與性能60
422音叉式微機(jī)械陀螺64
423框架式微機(jī)械陀螺66
424振動(dòng)輪式微機(jī)械陀螺68
43微慣性測(cè)量組合70
第5章熱微傳感器72
51微型熱電偶72
511熱電效應(yīng)72
512接觸電動(dòng)勢(shì)72
513溫差電動(dòng)勢(shì)72
514薄膜熱電偶73
52半導(dǎo)體結(jié)的熱微傳感器74
521二極管溫度傳感器74
522晶體管溫度傳感器76
523集成溫度傳感器76
53熱敏電阻型微傳感器79
531熱敏電阻參數(shù)79
532PTC熱敏電阻79
533NTC熱敏電阻79
534CTR熱敏電阻80
第6章磁微傳感器81
61霍爾效應(yīng)傳感器81
611霍爾效應(yīng)81
612霍爾效應(yīng)傳感器82
62磁阻傳感器84
621磁阻效應(yīng)84
622磁阻元件87
623磁敏電阻的溫度補(bǔ)償89
63結(jié)型磁敏管傳感器90
631磁敏二極管90
632磁敏三極管94
633結(jié)型磁敏管傳感器的應(yīng)用98
第7章化學(xué)微傳感器101
71氣體微傳感器101
711半導(dǎo)體氣體傳感器101
712石英振蕩式氣體傳感器107
713凝膠電化學(xué)氣體傳感器108
714集成復(fù)合型氣體傳感器108
72濕度微傳感器110
721半導(dǎo)體陶瓷濕度傳感器111
722多孔氧化物濕度傳感器112
723硅MOS型濕度傳感器113
73離子敏微傳感器114
731ISFET的工作原理114
732離子敏感膜117
第8章生物微傳感器119
81場(chǎng)效應(yīng)晶體管型酶?jìng)鞲衅?19
811酶的本質(zhì)和特性119
812場(chǎng)效應(yīng)晶體管型酶?jìng)鞲衅?21
82壓電晶體免疫傳感器122
821免疫反應(yīng)與免疫識(shí)別123
822免疫傳感器的檢測(cè)模式125
823壓電晶體免疫傳感器126
824壓電晶體免疫傳感器的應(yīng)用127
83基因傳感器128
831基因與基因診斷128
832基因傳感器的基本結(jié)構(gòu)和類(lèi)型129
833壓電晶體DNA傳感器129
84基因芯片130
841基因芯片的構(gòu)造與檢測(cè)原理130
842基因芯片的制備131
85基因芯片的應(yīng)用舉例133
第9章光電微傳感器136
91光電傳感器的基本效應(yīng)136
911光的基本性質(zhì)136
912外光電效應(yīng)136
913內(nèi)光電效應(yīng)137
914光熱效應(yīng)138
92光電探測(cè)器138
921光敏電阻138
922光敏二極管139
923光敏晶體管142
93CCD傳感器144
931CCD的結(jié)構(gòu)144
932CCD的工作原理144
933固態(tài)圖像傳感器146
934CCD攝像器件的主要特性147
935面陣CCD圖像傳感器不均勻性的校正148
936CCD器件的應(yīng)用151
第10章聲表面波傳感器153
101聲表面波傳感器技術(shù)基礎(chǔ)153
1011聲表面波的類(lèi)型153
1012聲表面波的主要性質(zhì)158
1013聲表面波叉指換能器（IDT）160
1014聲表面波傳感器檢測(cè)原理164
102聲表面波壓力傳感器166
103聲表面波溫度傳感器169
104聲表面波氣體傳感器170
105聲表面波陀螺171
第11章微傳感器的應(yīng)用173
111在汽車(chē)工業(yè)中的應(yīng)用173
112在機(jī)器人中的應(yīng)用175
1121微型機(jī)器人175
1122微型飛行器177
113在生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用177
114在光學(xué)方面的應(yīng)用180
115在航空航天方面的應(yīng)用180
參考文獻(xiàn)183