半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù)：高純水的制造及廢水、廢氣的處理

　　本書(shū)介紹了半導(dǎo)體生產(chǎn)中大量使用的洗滌用水-高純水的制備方法、純度測(cè)試及高純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，介紹了從半導(dǎo)體工廠排放出來(lái)的廢水及有害氣體的情況及其處理方法。

暫缺《半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù)：高純水的制造及廢水、廢氣的處理》作者簡(jiǎn)介