目錄
前言主要符號表
特征數
第1章 緒論
§1.1導言
§1.2一些典型微熱器件及其相應的熱現象
1.2.1薄膜中的熱傳導
1.2.2顆粒和點結構
1.2.3窄線及量子阱
1.2.4計算機元器件及其傳熱問題
1.2.5微型換熱器
1.2.6微型燃氣透平用燃燒室
1.2.7微尺度熱控制
1.2.8微尺度生物傳熱
1.2.9分子機器
§1.3微器件中傳熱問題的尺寸效應
§1.4微尺度傳熱學中的一些分析方法
§1.5微尺度傳熱學的一些研究進展
§1.6小結
參考文獻
第2章 微電子機械器件的典型制造方法
§2.1導言
§2.2典型微電子機械加工方法
§2.3現行能加工出的有關典型微結構
參考文獻
第3章 微米/納米尺度傳熱學的實驗研究方法
§3.1導言
§3.2納米尺度下的溫度測量
3.2.1概述
3.2.2掃描熱顯微鏡
3.2.3SThM探針的納米加工及校正
3.2.4掃描熱顯微鏡的應用
3.2.5新型掃描熱顯微鏡的發(fā)展
3.2.6測量瞬態(tài)溫度的原子力顯微鏡
3.2.7觀察分子水平上生物樣品的低溫原子力顯微鏡
§3.3溫度的非接觸光學測量方法
3.3.1材料光反射率的溫度依賴特性
3.3.2差式溫度測量技術
§3.4超快速溫度測量
3.4.1概述
3.4.2瞬態(tài)反射率測量方法
3.4.3雙光束皮秒連續(xù)測量光譜的技術
§3.5微尺度材料熱物性的測量方法
3.5.1自由薄膜的熱導率及熱擴散率的測量
3.5.2平行及垂直于薄膜面的熱擴散率的測量方法
3.5.3薄膜熱導率的非接觸測量方法
§3.6微傳熱與流動傳感器中的尺寸效應
參考文獻
第4章 微米/納米尺度傳熱學中的基本分析方法
§4.1導言
§4.2Boltzmann 輸運理論
4.2.1概述
4.2.2Boltzmann方程的簡單推導
4.2.3碰撞間隙理論
4.2.4Boltzmann分布的場效應及碰撞效應
4.2.5基于Boltzmann輸運理論導出的傳熱和流動守恒方程
§4.3分子動力學理論
4.3.1概述
4.3.2硬球分子動力學
4.3.3連續(xù)勢分子動力學
4.3.4物質輸運系數及某些熱物理量的計算
4.3.5分子動力學模擬方法的某些應用
§4.4計算流體流動問題的直接Monte-Carlo模擬方法
4.4.1概述
4.4.2直接Monte-Carlo 模擬方法
§4.5量子分子動力學方法
4.5.1概述
4.5.2量子分子動力學計算方法
參考文獻
第5章 微尺度器件中的流體力學問題
§5.1導言
§5.2一個典型微尺度流動現象
§5.3流體模型區(qū)域劃分
§5.4流體力學連續(xù)模型
§5.5流體可壓縮性
§5.6流體邊界條件
§5.7基于分子的流動模型
§5.8液體流動問題
§5.9表面現象
§5.10應用微流體力學
參考文獻
第6章 微米/納米介質中的熱傳導
§6.1導言
§6.2Fourier定律的適用性及其替代方法
§6.3熱傳導的邊界散射效應
§6.4薄膜熱傳導的Casimir極限
§6.5Matthiessen定律
§6.6基于Boltzmann 方程的廣義熱導率
6.6.1Boltzmann 方程的基本解
6.6.2熱導率:WiedemannFrantz定律
§6.7熱導率的尺寸效應
§6.8熱導率尺寸效應的微結構物理機制
§6.9薄膜比熱容的尺寸效應
§6.10薄膜-基底界面間的熱阻問題
§6.11亞微米半導體器件中的熱量產生與輸運
§6.12跨越電子隧道的量子熱量輸運
§6.13微尺度傳熱學中的非Fourier效應
§6.14熱學-力學相互作用方程
參考文獻
第7章 微尺度對流傳熱
§7.1導言
§7.2一些典型的微尺度對流傳熱現象
§7.3微槽/微管內的單相對流換熱
§7.4微尺度氣體流動和傳熱的可壓縮性及稀薄效應
§7.5熱對流邊界效應
§7.6微尺度流動和傳熱中的熱導率效應
§7.7微槽熱輸運問題的數值模擬研究
§7.8影響微槽流體傳熱和流動的外部效應
7.8.1流體物性效應
7.8.2電水動力學效應
7.8.3對流換熱邊界的界面效應
§7.9微槽內射流傳熱
§7.10微槽內的沸騰換熱及微尺度換熱器的優(yōu)化問題
§7.11燃燒顆粒的微尺度對流換熱問題
參考文獻
第8章 微尺度相變傳熱問題
§8.1導言
§8.2過熱氣體內微蒸發(fā)液滴的傳熱問題
§8.3微尺度滴狀冷凝問題
§8.4微槽內的沸騰臨界熱流及壓降
§8.5激光加工過程中的熔化現象
參考文獻
第9章 微尺度輻射現象
§9.1導言
§9.2熱工程中的輻射類型
§9.3空間微尺度內的輻射區(qū)域劃分
§9.4時間微尺度下的輻射現象
§9.5結構微尺度內的輻射現象
§9.6薄膜輻射性質的厚度依賴特性
§9.7材料表面反射率的微結構依賴特性
參考文獻
第10章 微尺度非平衡傳熱問題及某些熱現象中的尺寸效應
§10.1導言
§10.2激光加熱過程中的非平衡傳熱問題
§10.3液體受高強度脈沖加熱時的飽和吸收問題
§10.4納米粒子周圍的非平衡熱傳導
§10.5薄膜中的熱應力
§10.6超導薄膜臨界溫度的尺寸效應
參考文獻
第11章 微尺度生物傳熱傳質問題
§11.1導言
§11.2常溫或高溫情況下的微尺度生物傳熱傳質問題
§11.3低溫下的微尺度生物傳熱傳質問題
§11.4生物體膜的輻射問題
§11.5生物芯片中的傳熱與流動問題
§11.6生物熱反應器
§11.7微型生物熱醫(yī)學器件
§11.8研究微尺度生物傳熱問題的多模式能量耦合模型
11.8.1集中參數系統中的多模式能量效應
11.8.2分布參數系統內的多能量耦合傳熱模型
§11.9小結參考文獻
附錄:簡寫及英漢對照
索引