半導體激光干涉理論及應用

　　本書討論以半導體激光器為光源的干涉理論及在幾何量測量中的應用技術(shù)，全書共八章。以半導體激光器體積小，重量輕、輸出光可調(diào)諧、易集成等優(yōu)點為基礎(chǔ)所形成的半導體激光干涉技術(shù)，為實現(xiàn)許多物理量的高精度、非接觸、在線測量提供可能。本書作為半導體激光干涉理論及其應用技術(shù)的系統(tǒng)總結(jié)，詳細介紹有關(guān)的理論基礎(chǔ)、可能出現(xiàn)問題的具體解決方法，詳細討論了利用各種輸出光調(diào)諧方式進行幾何量干涉測量的理論及技術(shù)。本書所討論的內(nèi)容基本上反映了近年來該領(lǐng)域的主要成就，涉及到了幾何量測量的大部分內(nèi)容，有廣泛的適用性，可以作為從事精密儀器、光學儀器以及其他儀器儀表研究、應用的專業(yè)技術(shù)人員的參考書，對從事機械制造、航天航空、電子工業(yè)等領(lǐng)域的有關(guān)人員也一定會有較大的幫助。

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